真空和低温这两个学科联系非常密切。

低温技术依靠真空非常明显的例子比如：真空绝热。

低温设备中，为了减少冷量的泄露，必须采用高真空绝热。比如液氦、液氢的存储容器。

在真空技术中，获得高真空和超高真空最有效的手段就是低温。

原理是：利用气体在低温表面的凝集从而实现低温冷凝抽气、气体在多孔材料中的物理吸附抽气、某些金属膜对气体的化学吸附抽气。

利用低温获得真空有很多好处：

1、工作压强范围宽，启动压强高。

2、极限真空度高，可达到10*（-12）pa的极高真空。

3、抽气速率大，例如空间环模设备采用内置式低温泵抽速可达百万/秒。

4、没有污染，真正实现无油清洁真空。

在真空技术中，还存在大量的带有油介质的泵，如扩散泵、旋片泵、滑阀泵等，为了避免油蒸汽进入真空空间，一般需要加低温捕油阱或挡油挡板，而其冷却必须使用低温制冷设备来到达。

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