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罗茨螺杆真空泵机组真空度怎么测量(真空度测量仪器有哪些)
作者:牛成    发布于:2020-10-19 09:03:00    文字:【】【】【
摘要:真空系统或真空泵的真空度究竟有多高是多少呢?就需要用到各种真空度的测量仪器来测量了

      真空泵的作用是对真空系统(器件)进行抽气从而达到一定的真空泵(或者压力)。

      那么真空度究竟有多高是多少呢?就需要用到各种真空度的测量仪器了,即真空计。

      需要说明的是真空度测量是对低于大气压的气体作全压的测量,所以真空计是测量真空系统中低于大气压的所有气体总压的仪器。如果要测某种气体的分压力,则需要四级质谱计那样的分圧计来测量。

     真空计包括两部分组成:真空规管和控制线路。

     真空计的分类如下:

     按工作原理可分为绝对真空计和相对真空计。


常见的真空计有:真空压力表(布尔登规)        10*5~100pa            

                          压阻式真空计                        10*5~10pa

                          石英真空计                           10*5~10pa

                          U型管真空计                         10*5~10pa(水银)     10*5~1pa(油)

                          压缩真空计                            电阻真空计(皮拉尼真空计)         热偶真空计

                          热(冷)阴极电离真空计          B-A电离真空计                            克努曾真空计

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